Mục lục
Tấm wafer sapphire 2 inch (khoảng 50,8 milimét) là những đĩa tròn nhỏ làm từ sapphire, một dạng tinh thể của oxit nhôm (Al₂O₃). Những tấm wafer này thường được sử dụng trong nhiều ứng dụng khác nhau trong ngành công nghiệp bán dẫn, bao gồm sản xuất đèn LED, mạch tích hợp và các thiết bị điện tử khác.
Các tấm wafer sapphire được đánh giá cao nhờ tính dẫn nhiệt cao, độ trong suốt quang học và khả năng chống lại các tác động hóa học và cơ học, khiến chúng trở thành chất nền lý tưởng cho các quy trình sản xuất đòi hỏi độ chính xác và độ bền cao.
1. Độ cứng tuyệt vời: Tấm wafer sapphire 2 inch có độ cứng vượt trội, chỉ đứng sau kim cương trên thang độ cứng Mohs. Đặc tính này đảm bảo khả năng chống trầy xước, mài mòn và hao mòn vượt trội, khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho các môi trường khắc nghiệt.
2. Độ dẫn nhiệt cao: Độ dẫn nhiệt của các tấm wafer sapphire 2 inch cao hơn so với hầu hết các vật liệu nền khác, giúp tản nhiệt hiệu quả và đảm bảo hiệu suất cũng như độ tin cậy tối ưu trong các ứng dụng nhiệt độ cao.
3. Độ trong suốt quang học: Độ trong suốt trên dải bước sóng rộng, từ tia cực tím đến cận hồng ngoại, mang lại giá trị vô cùng to lớn cho các tấm wafer sapphire 2 inch trong các ứng dụng quang học và quang điện tử (bao gồm đèn LED, hệ thống laser và cửa sổ quang học).
4. Tính trơ hóa học: Sapphire 2 inch có khả năng chống ăn mòn hóa học vượt trội, không bị ảnh hưởng bởi axit, kiềm và các hóa chất mạnh khác. Đặc tính này giúp tăng tuổi thọ và độ tin cậy của các thiết bị sử dụng tấm wafer sapphire trong môi trường có tính ăn mòn hóa học.
5. Độ ổn định cơ học: Độ bền và độ cứng vốn có của sapphire 2 inch góp phần tạo nên tính ổn định cơ học, đảm bảo độ chính xác về kích thước và tính đồng nhất – những yếu tố quan trọng trong các quy trình sản xuất bán dẫn.
Tấm wafer sapphire 2 inch được sử dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp, trong đó một số ngành chính bao gồm:
1. Sản xuất đèn LED: Tấm wafer sapphire được sử dụng trong sản xuất đèn LED làm chất nền cho quá trình phát triển lớp nitrua gali (GaN) theo phương pháp epitaksi, góp phần tạo ra các giải pháp chiếu sáng có độ sáng cao và tiết kiệm năng lượng cho nhiều ứng dụng khác nhau, bao gồm màn hình hiển thị, đèn chiếu sáng ô tô và chiếu sáng chung. .
2. Thiết bị bán dẫn: Trong ngành công nghiệp bán dẫn, các tấm wafer sapphire được sử dụng làm chất nền để sản xuất các thiết bị tần số cao, công suất lớn như bộ khuếch đại tần số vô tuyến (RF), mạch tích hợp vi sóng (MIC) và các thiết bị bán dẫn công suất.
3. Quang điện tử: Nhờ tính trong suốt quang học và độ bền cơ học, các tấm wafer sapphire được sử dụng trong sản xuất các bộ phận quang học, bao gồm thấu kính, cửa sổ và lăng kính, cũng như trong chế tạo các thiết bị quang tử như điốt laser và cảm biến quang học.
4. Công nghệ MEMS và cảm biến: Các tấm wafer sapphire có tính trơ hóa học, tương thích sinh học và có khả năng chịu được các điều kiện hoạt động khắc nghiệt, khiến chúng trở thành nền tảng lý tưởng để sản xuất các hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) và cảm biến.
| Thông số kỹ thuật | 2 inch |
| Đường kính | 50,8 ± 0,1 mm |
| Độ dày | 430 ± 15 μm |
| Độ nhám bề mặt | Ra ≤ 0,3 μm |
| Sự biến dạng | ≤ 10 μm |
| Độ biến thiên tổng thể về độ dày | ≤ 3 μm |
| Chất lượng bề mặt | 20/10 |
| Tình trạng bề mặt | Đánh bóng hai mặt hoặc đánh bóng một mặt |
| Hình dạng | Hình tròn hoặc dạng phẳng |
| Vát cạnh | 45°, hình chữ C |
| Vật liệu | Thủy tinh Sapphire |
| Lưu ý | Tấm wafer Sapphire có thể tùy chỉnh |
